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Sciences naturelles et génie; Génie; Environnement et développement durable

Luc Stafford

Physique et diagnostics des plasmas réactifs, traitement des matériaux, développement durable

Professeur titulaire

Faculté des arts et des sciences - Département de physique

Complexe des sciences, room B-4428

514 343-6542

luc.stafford@umontreal.ca

Media

Portraits de profs : Luc Stafford

Capsule vidéo produite par la Fédération québécoise des professeures et professeurs d'université (FQPPU) dans le cadre de sa campagne de valorisation "Portraits de profs".

Luc Stafford - Chercheur en physique – UdeM

« Comment rendre nos matériaux plus résistants, et donc plus verts? » – Luc Stafford - Chercheur en physique – UdeM

Témoignage de Luc Stafford | SÉRI Montréal, le 8 mai 2017

Témoignage de Luc Stafford, professeur au département de physique à l'UdeM, en faveur de l’événement SÉRI Montréal sur le thème « Énergie, clé de la transformation » tenu le 8 mai 2017 à la SAT.

Profile

Research expertise

Les activités de recherche du professeur Stafford s’articulent autour de la physique des plasmas hautement réactifs et des interactions plasmas-surfaces ayant lieu au cours de la synthèse, de la gravure et de la modification par plasmas froids (hors équilibre thermodynamique) de matériaux et de nanomatériaux. Plus spécifiquement, la recherche s’oriente selon trois volets : i) Mise au point et diagnostics de sources avancées de plasmas froids hautement réactifs à basse pression et à la pression atmosphérique, (ii) Développement de nouveaux procédés basés sur de tels plasmas froids et (iii) Intégration de ces procédés basés sur les plasmas froids dans des secteurs stratégiques pour le développement économique du Québec et du Canada, en particulier dans le domaine de la fabrication et de la production industrielle, de la valorisation des ressources naturelles, de l'énergie et du développement durable.

Affiliations and responsabilities

University service and activities

Activities within organizations or entities of the institution

Administrative responsibilities

  • Vice-recteur adjoint à la recherche et à l'innovation (Nature et technologies)
  • Président du comité des bourses du département de physique
  • Membre du comité des laboratoires du département de physique

Teaching and supervision

Student supervision

Theses and dissertation supervision (Papyrus Institutional Repository)

2025

Contrôle de l'apport d'énergie dans l'interaction plasma-graphène : formation de défauts et chimie de surface

Diplômé(e) : Moderie, Charles
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2025

Décharges sparks à l’interface de deux liquides non miscibles : diagnostics optiques et émulsification

Diplômé(e) : Dorval, Audren
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2025

Spatially and temporally-resolved study of an open-to-air argon gas gliding discharge

Diplômé(e) : Kriz, Ester
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2024

Étude de décharges Ar-NH3 en simple et double fréquence à la pression atmosphérique

Diplômé(e) : Robert, Raphaël
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2022

Etude radiative d’un plasma d’argon à la pression atmosphérique produit par des micro-ondes en régime pulsé

Diplômé(e) : Maris, Raphaël
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2022

Modification de nanoparticules d’argent par jet de plasma à la pression atmosphérique

Diplômé(e) : Trahan, Julien
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2021

Étude fondamentale d’une Décharge à Barrière Diélectrique en N2 à la pression atmosphérique en régime de Townsend

Diplômé(e) : de Mejanes, Naomi
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2021

Étude fondamentale des interactions plasma-graphène dans les plasmas Argon/B2H6

Diplômé(e) : Vinchon, Pierre
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2021

Modification de films de graphène dans la post-décharge en flux de plasmas micro-ondes d’azote à pression réduite

Diplômé(e) : Robert Bigras, Germain
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2020

Diagnostics spectroscopiques de plasmas d'argon à la pression atmosphérique en présence d'espèces réactives

Diplômé(e) : Durocher-Jean, Antoine
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2020

Modification of microfibrillated cellulose foams by atmospheric-pressure plasmas

Diplômé(e) : Meunier, Louis-Félix
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2019

Étude électrique et spectroscopique d'une décharge nanopulsée dans l'hélium à la pression atmosphérique

Diplômé(e) : Montpetit, Florence
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2019

Étude spectroscopique et électrique de décharges contrôlées par barrières diélectriques en régime multi-pics

Diplômé(e) : Pellerin Boudriau, Vincent
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2018

Étude spectroscopique des phénomènes de résonance dans les plasmas micro-ondes

Diplômé(e) : Boivin, Simon
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2018

Étude fondamentale du traitement du bois dans les plasmas N2-O2

Diplômé(e) : Prégent, Julien
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2015

Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc

Diplômé(e) : Maaloul, Lanoir
Cycle : Doctorat
Diplôme obtenu : Ph. D.
2015

Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8

Diplômé(e) : Fradet, Mathieu
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2014

Etude spectroscopique d’un plasma micro-onde à la pression atmosphérique et son application à la synthèse de nanostructures

Diplômé(e) : Kilicaslan, Amaury
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2014

Modification des propriétés optiques de nanofils à base de GaN par plasma N2/O2

Diplômé(e) : Ferreira, Jason
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2014

Étude de la cinétique et des dommages de gravure par plasma de couches minces de nitrure d’aluminium

Diplômé(e) : Morel, Sabrina
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.
2012

Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces

Diplômé(e) : Boudreault, Olivier
Cycle : Maîtrise
Diplôme obtenu : M. Sc.

Projects

Research projects

2024 - 2030

Exploring new regimes of low-temperature plasma processes through space- and timeresolved optical diagnostics

Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2022 - 2029

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe (RQMP)

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2024 - 2028

Agricultural Genomics Action Centre: Innovation, Implementation and Impact for Climate Smart Agriculture

Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: Ontario Genomics
Grant programs:
2024 - 2028

Étude des décharges impulsionnelles dans et en contact avec l'eau par spectroscopie et imagerie ultrarapide à rayons X

Lead researcher : Ahmad Hamdan
Co-researchers : Luc Stafford , Hussein Amina , Émile Carbone
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT) , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-Programme NOVA pour chercheur(e)s de la relève (partenariat avec CRSNG) , PVXXXXXX-Programme NOVA pour chercheur(e)s de la relève (partenariat avec FRQNT)
2024 - 2028

Étude des décharges impulsionnelles dans et en contact avec l'eau par spectroscopie et imagerie ultrarapide à rayons X

Lead researcher : Ahmad Hamdan
Co-researchers : Luc Stafford , Hussein Amina , Émile Carbone
2023 - 2028

Agricultural Genomics Action Centre: Innovation, Implementation and Impact for Climate Smart Agriculture

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Génome Québec
Grant programs:
2025 - 2026

Entente de financement DRAC entre Alliance numérique du Canada, Concordia, Poly, HEC, McGill, UL, UdeM, UQAM, UdeS et Calcul Québec

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Alliance de recherche numérique du Canada
Grant programs:
2024 - 2026

Dry processing of CO2RR electrodes with catalyst surface organic functionalization for a designed control of Faradic efficiency towards ethylene

Lead researcher : Mickaël Dollé
Co-researchers : Luc Stafford , David Sinton
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-Subventions Alliance - Option 1
2021 - 2026

Canada Research Chair in Physique des Plasmas Hautement Réactifs (PPHARE)

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: SPIIE/Secrétariat des programmes interorganismes à l’intention des établissements
Grant programs: PVX50399-Chaires de recherche du Canada
2023 - 2025

Optimisation d’une technologie basée sur les plasmas froids pour le traitement du cancer du sein

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: NexPlasmaGen inc.
Grant programs:
2023 - 2025

Entente de financement DRAC24028-24036

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Alliance de recherche numérique du Canada
Grant programs:
2022 - 2025

Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition of multifunctional and sustainable nanocomposite coatings (RI-plasma)

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG) , Prima Québec
Grant programs: PVXXXXXX-Subventions Alliance - Option 1 ,
2022 - 2025

Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition of multifunctional and sustainable nanocomposite coatings (RI-plasma)

Lead researcher : Luc Stafford
2022 - 2025

Nouveaux procédés basés sur un réacteur-injecteur de nanoparticules pour le dépôt par plasma de couches minces nanocomposites multifonctionnelles (RI-Plasma)_Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Groupe Safran
Grant programs:
2022 - 2025

Nouveaux procédés basés sur un réacteur-injecteur de nanoparticules pour le dépôt par plasma de couches minces nanocomposites multifonctionnelles (RI-Plasma)_Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Plasmionique inc.
Grant programs:
2021 - 2025

Nouveaux procédés basés sur un réacteur-injecteur de nanoparticules pour le dépôt par plasma de couches minces nanocomposites multifonctionnelles (RI-plasma)

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2018 - 2025

Diagnostics of cold and highly reactive plasmas applied to complex materials and nanomaterials processing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2021 - 2024

Calcul-Quebec_calcul_haute_performance_et_quantique_UdeM

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Ministère Économie et Innovation
Grant programs: PVXXXXXX-Soutien aux organismes de recherche et innovation (PSO) - Volet 2: Soutien aux projets
2017 - 2024

FEI Sans Restriction ISM2 de Calcul Canada/Calcul Québec

Lead researcher : Paul Charbonneau , Laurent J. Lewis , Luc Stafford
Funding sources: Université de Montréal
Grant programs:
2022 - 2023

Nanostructured anti-reflective glass for lenses, electronic displays, and photovoltaics

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération Québec - MITACS
2021 - 2023

Ultrahigh-resolution emission and absorption spectroscopy of nonequilibrium and highlyreactive plasmas applied to complex materials processing

Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(OIR) Outils et d'instruments de recherche (de 7 001 $ à 150 000 $)
2017 - 2023

Green Surface Engineering for Advanced Manufacturing (Green-SEAM)

Lead researcher : Christian Moreau
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques
2020 - 2022

New hyperspectral imager with Bragg tunable filters for multiscale and multiphase analysis of nonequilibrium plasmas

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(OIR) Outils et d'instruments de recherche (de 7 001 $ à 150 000 $)
2017 - 2022

Green Surface Engineering for Advanced Manufacturing (Green-SEAM)

Lead researcher : Christian Moreau
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques
2016 - 2022

FGR-CRSNG_2015_2019

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-FGR - Subvention de recherche institutionnelle
2020 - 2021

Hyperfine emission and absorption spectroscopy of a new microwave plasma source at atmospheric pressure: application to the reduction of Ti powders for additive manufacturing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération Québec - MITACS
2020 - 2021

Supplément COVID-19 CRSNG_Diagnostics of cold and highly reactive plasmas applied to complex materials and nanomaterials processing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-Supplément à l’appui des étudiants, des stagiaires postdoctoraux et du personnel de soutien à la recherche COVID-19
2020 - 2021

NSERC Green-SEAM Strategic Network Research - Supplemental Funding

Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20966-Programme de subventions de réseaux stratégiques
2019 - 2021

Partial oxide reduction of Ti-6Al-4V fine and spherical powders by non-thermal argon-hydrogen microwave plasmas for additive manufacturing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PV128974-(EGP) Programme de subvention d'engagement partenarial
2019 - 2021

Development and optimization of a new roll-to-roll atmospheric pressure plasma reactor: deposition of functional nanocomposite coatings on Polymer and Paper Rolls

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération - Bourse industrielle pour chercheurs postdoctoraux - MITACS
2016 - 2021

Chaire du Canada en science et applications des plasmas froids hautement réactifs à la pression

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: SPIIE/Secrétariat des programmes interorganismes à l’intention des établissements
Grant programs: PVX50399-Chaires de recherche du Canada
2017 - 2020

Nouvelle plateforme d'innovation en science et applications des plasmas froids à la pression atmosphérique

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs: PVXXXXXX-Fonds d'exploitation des infrastructures (FEI)
2018 - 2019

Development and Optimization of a New Roll-to-Roll Atmospheric Pressure Plasma Reactor : Deposition of Functional Nanocomposite Coatings on Polymer and Paper Rolls.

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération Québec - MITACS
2017 - 2019

Operations and Maintenance Support for Canadensys: Pancanadian Biodiversity Informatics Network and Portal

Lead researcher : Anne Bruneau
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(OIR) Outils et d'instruments de recherche (de 7 001 $ à 150 000 $)
2016 - 2019

Développement de procédés souples et verts basés sur les plasmas froids pour la fonctionnalisation de fibres ligno-cellulosiques

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Plasmionique inc. , Prima Québec , FPInnovations , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: , , , PVX20973-(RDC-CRD) Partenariat de recherche / Subvention de recherche et développement coopérative
2015 - 2019

Nouvelles méthodes basées sur les plasmas pour la fonctionnalisation post-croissance du graphène

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Michel Côté , Richard Leonelli
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2015 - 2019

DEVELOPPEMENT DE NOUVELLES METHODES BASEES SUR LES PLASMAS HORS EQUILIBRE POUR LA MODIFICATION POST-CROISSANCE DU GRAPHENE

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Photon Etc , Plasmionique inc. , Prima Québec , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: , , , PVX20973-(RDC-CRD) Partenariat de recherche / Subvention de recherche et développement coopérative
2013 - 2019

DIAGNOSTICS OF COLD AND HIGHLY REACTIVE PLASMAS APPLIED TO COMPLEX MATERIALS PROCESSING

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2016 - 2018

Développement de procédés souples et verts basés sur les plasmas froids pour la fonctionnalisation de fibres ligno-cellulosiques

Lead researcher : Luc Stafford
2015 - 2018

DEVELOPPEMENT DE NOUVELLES METHODES BASEES SUR LES PLASMAS HORS EQUILIBRE POUR LA MODIFICATION POST-CROISSANCE DU GRAPHENE

Lead researcher : Luc Stafford
2015 - 2017

PLASMA-QUEBEC

Lead researcher : Joëlle Margot
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2013 - 2017

DEVELOPMENT OF SMART GLASS MATERIALS: SURFACE ENGINEERING OF ANTI-FOG AND SELF CLEANING GLASS USING DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE PLASMAS AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Lead researcher : Gaétan Laroche
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: Multiver Ltée , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: , PVX20973-(RDC-CRD) Partenariat de recherche / Subvention de recherche et développement coopérative
2013 - 2017

NOUVELLE PLATEFORME D'INNOVATION EN SCIENCE ET APPLICATIONS DES PLASMAS FROIDS À LA PRESSION ATMOSPHERIQUE

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs:
2011 - 2017

FGR_CRSNG_2016-2017

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG) , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-FGR - Subvention de recherche institutionnelle , PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques
2008 - 2017

PLASMA-QUEBEC

Lead researcher : Joëlle Margot
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2013 - 2016

DEVELOPMENT OF SMART GLASS MATERIALS: SURFACE ENGINEERING OF ANTI-FOG AND SELF-CLEANING GLASS USING DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE PLASMAS AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Lead researcher : Gaétan Laroche
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: Multiver Ltée , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: ,
2012 - 2016

PORTION APPAREILLAGE-DECHARGES FROIDES HOMOGENES A LA PRESSION ATMOSPHERIQUE ET LEUR APPLICATION A LA SYNTHESE DE COUCHES BARRIERES NANOCOMPOSITES SUR LE BOIS

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2012 - 2016

DECHARGES FROIDES HOMOGENES A LA PRESSION ATMOSPHERIQUE ET LEUR APPLICATION A LA SYNTHESE DE COUCHES BARRIERES NANOCOMPOSITES SUR LE BOIS.

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2011 - 2016

LABORATOIRE D'INTERACTIONS PLASMAS-COUCHES MINCES ET PLASMAS-NANOMATERIAUX

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs:
2011 - 2013

DEVELOPMENT OF FUNCTIONAL, NANOSTRUCTURED COATINGS ON WOOD SURFACES USING COLD, ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMAS

Lead researcher : Luc Stafford
2008 - 2012

FUNDAMENTALS OF PLASMA-SURFACE INTERACTIONS IN COMPLEX MATERIALS PROCESSING

Lead researcher : Luc Stafford
2011

STUDY OF THE SURFACE ROUGHENING DYNAMICS AND FEATURE PROFILE EVOLUTION IN PLASMA ETCHING OF AIN THIN FILMS FOR ADVANCED MEMS MICROFABRICATION

Lead researcher : Luc Stafford
2008

SPECTROSCOPIC ELLESPOMETER FOR IN-SITU INVESTIGATIONS OF PLASMA-SURFACE INTERACTIONS

Lead researcher : Luc Stafford

Outreach

Publications and presentations

Disciplines

  • Physique
  • Génie des matériaux et génie métallurgique
  • Génie chimique
  • Chimie
  • Environnement et développement durable

Areas of expertise

  • Physique des plasmas et des décharges électriques
  • Matériaux nanostructurés : fabrication et caractérisation
  • Implantation et dépôt par plasma
  • Techniques et instrumentation de diagnostics plasmas
  • Gravure et nettoyage par plasma
  • Interactions plasma-matière
  • Dépôt par vapeur chimique
  • Canada (Québec)
  • Ressources énergétiques

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