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/ Research

Je donne
Natural Sciences and Engineering; Engineering

François Schiettekatte

Dynamics and uses of implantation defects in semiconductors

Professeur titulaire

Faculté des arts et des sciences - Département de physique

Complexe des sciences, room B-4419

514 343-6049

francois.schiettekatte@umontreal.ca

Media

Regroupement québécois des matériaux de pointe

François Schiettekatte est directeur adjoint du Regroupement québécois des matériaux de pointes (RQMP). - ©RQMP

François Schiettekatte est directeur adjoint du Regroupement québécois des matériaux de pointes (RQMP).

Profile

Research expertise

Ion implantation is a technique for modifying the surface of materials by injecting precise quantities of atoms at the desired depth. It is widely used in doping semiconductors when manufacturing very large-scale integrated circuits (VLSI). Since it is a highly out-of-balance phenomenon (the incident atoms typically have energies millions of times higher than the atoms in the material), this implantation often generates new structures at the atomic level that can be exploited to improve the performance of high-tech materials, or may create problems to be overcome.

For instance, during the doping process, implantation creates defects in semiconductors by displacing crystal atoms, and this is damaging to integrated circuits. If there are not too many defects, the damage can be corrected by annealing and the dopant activated. If the density of the defects exceeds a certain threshold, however, permanent damage will appear in the materials and may make the devices unusable.

Inversely, ion implantation generates defects that can be used to modify materials. Implantation makes it possible to create defects near the surface that can later diffuse throughout the material and modify the composition of the lower layers by interdiffusion. In this way it is possible to change the emission wavelengths of quantum dots or wells and the properties of the magnetic layers.

Ion beams can also be used for highly sensitive quantitative measurement of the deep distribution of atoms in a material. In our laboratories we use various ion beam analysis techniques, in particular elastic recoil detection (ERD), a technique developed in our laboratories in the 1970s, and Rutherford backscattering spectrometry (RBS), RBS channelling and nuclear resonant reaction analysis (NRRA).

Biography

François Schiettekatte fait partie du groupe de matière condensée du département de physique de l'Université de Montréal. Il est entre autres spécialiste en analyse et modification des matériaux par faisceaux d'ions et en mesure de l’évolution thermique des nanostructures par nanocalorimétrie. Il fait partie de la Collaboration scientifique des détecteurs d'ondes graviationnelles LIGO dont son groupe travaille à rendre les miroirs plus silencieux (ou moins bruillants).

Affiliations and responsabilities

Teaching and supervision

Student supervision

Theses and dissertation supervision (Papyrus Institutional Repository)

2023

Simulation des mécanismes de dissipation mécanique interne du silicium amorphe

Graduate : Lévesque, Carl
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2021

Synthèse de couches optiques par co-dépôt pour les miroirs de LIGO

Graduate : Lalande, Émile
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2018

Évolution des défauts dans les fibres optiques irradiées

Graduate : Laplante, Caroline
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2011

Structures photoniques à base de nanocristaux de silicium

Graduate : Bibeau-Delisle, Alexandre
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2006

Étude de l'évolution thermique du dommage d'implantation dans le silicium par nanocalorimétrie

Graduate : Karmouch, Rachid
Cycle : Doctoral
Grade : Ph. D.
2005

Relaxation du silicium amorphe étudiée par nanocalorimétrie

Graduate : Mercure, Jean-François
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.

Projects

Research projects

2022 - 2029

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe (RQMP)

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2022 - 2028

Relaxation, friction interne et ondes gravitationnelles

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2021 - 2027

Plateforme d'iinovation en procédés plasma avec caractérisation in-plasma des matériaux et nanomatériaux

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: Université de Montréal
Grant programs: PVXXXXXX-FEI sans restriction
2022 - 2026

Relaxation, friction interne et ondes gravitationnelles

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(MDN) Supplément aux subventions à la découverte
2021 - 2024

Contrôle des contraintes mécaniques résiduelles dans les revêtements optiques: de leurs origine aux applications avancées

Lead researcher : Ludvik Martinu
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2019 - 2024

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe ( RQMP )

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2021 - 2023

Electron microscopy analysis of (nano)materials with environmental, biological and industrial importance

Lead researcher : Jean-François Masson
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(OIR) Outils et d'instruments de recherche (de 7 001 $ à 150 000 $)
2015 - 2023

CALCUL QUEBEC

Co-researchers : Laurent J. Lewis , Anne Bruneau , Damian Labuda , Georges Michaud , Rémy Sauvé , Michel Côté , Jacques Drouin , Normand Mousseau , François Schiettekatte , Daniel Sinnett , Mohamed Hijri , Jesse Shapiro , Mark E. Samuels , Pierre-Louis Bellec , Armand Soldera , David Sénéchal , Nikolas Provatas , Pierre-Étienne Jacques , Pierre-Étienne Jacques , Nicolas Moitessier , Stefan Sinclair , Georges Dionne , Erica Moodie , Victoria Kaspi , Lorne Archie Nelson , Jackalyn Marie Vogel , Alan C Evans , Brigitte Jaumard , Russell Davidson , Martin Aube , Ali Dolatabadi , Pierre Proulx , François Vidal , Claude Legault , Hong Guo , Alain Rochefort , André-Marie Tremblay , Alexandre Blais , Sivakumaran Nadarajah , François Bertrand , Frédéric Sirois , G. Peslherbe , Marius Paraschivoiu , André Dieter Bandrauk , Noureddine Atalla , Adam Skorek , Hugo Larochelle , Guillaume Bourque , W Robert J Funnell , Sang Yong Jeon , Guy Moore , Jacek A. Majewski , Andrew Piper , Luc Mongeau , Daniel Joseph Kirshbaum , Jun Song , Jean-Yves Trépanier , François Guibault , Éric Laurendeau , Wagdi Habashi , Thomas Fevens , Kalifa Goïta , Stéphane Moreau , Patrizio Antici , Dany Dumont , Jannette Frandsen , Gabriel Crainic , Marc Parizeau , Leandro Coelho , Hugo Martel , Laxmi Sushama , Guy Dumas , Christian Gagné , Pierre Gauthier , Louis Jean Dubé , Louis Pérusse , Alain De Champlain , Daniel Reinharz , Arnaud Droit , Frédéric Maps , Abdelkader Baggag , René Laprise , Simon Guillotte , Marie-Jean Meurs , Rober Platt
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2014 - 2023

EVOLUTION OF NANOSCALE GLASSES

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2020 - 2021

Bourse de stage international - Mané Seck / Regroupement québécois sur les matériaux de pointe ( RQMP )

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-Bourse de stage international relié aux regroupements stratégiques
2020 - 2021

Bourse de stage international - Megan Cowie / Regroupement québécois sur les matériaux de pointe ( RQMP )

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-Bourse de stage international relié aux regroupements stratégiques
2020 - 2021

Supplément COVID-19 CRSNG_EVOLUTION OF NANOSCALE GLASSES

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-Supplément à l’appui des étudiants, des stagiaires postdoctoraux et du personnel de soutien à la recherche COVID-19
2017 - 2021

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe (RQMP) Hosted by McGill 2017-2021

Lead researcher : Michael Hilke
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2016 - 2021

Plateforme d'iinovation en procédés plasma avec caractérisation in-plasma des matériaux et nanomatériaux

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs: PVXXXXXX-Fonds d'innovation
2015 - 2021

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe

Lead researcher : Louis L. Taillefer
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2013 - 2016

DEVELOPMENT OF GERMANIUM FIBER BRAGG GRATINGS AND ER-DOPED FIBER AMPLIFIERS FOR OPERATION IN HARSH ENVIRONMENTS

Lead researcher : Federico Rosei
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG) , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques ,
2013 - 2016

REGROUPEMENT QUEBECOIS SUR LES MATERIAUX DE POINTE (RQMP)

Lead researcher : François Schiettekatte
Co-researchers : Louis L. Taillefer
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2012 - 2016

DETECTEURS TERAHERTZ A BASE D'INGAASP ET SYSTÈME D'IMAGERIE THZ EN CHAMP PROCHE

Lead researcher : Denis Morris
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2009 - 2016

REGROUPEMENT STRATEGIQUE - REGROUPEMENT QUEBECOIS SUR LES MATERIAUX DE POINTE (RQMP)

Lead researcher : Sjoerd Roorda
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2009 - 2016

REGROUPEMENT QUEBECOIS SUR LES MATERIAUX DE POINTE - RQMP

Lead researcher : Sjoerd Roorda
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2012 - 2015

DETECTEURS TERAHERTZ A BASE D'INGAASP ET SYSTÈME D'IMAGERIE THZ EN CHAMPS PROCHE

Lead researcher : Denis Morris
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2011 - 2015

CANADIAN CHARGED PARTICLE ACCELERATOR CONSORTIUM (CCPAC)

Lead researcher : Sjoerd Roorda
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(ARM/MRS) Appui aux ressources majeures - Major resources support
2001 - 2015

DEVELOPING METHODS OF ULTRATHIN FILMS CHARACTERISATION: NANOCALORIMETRY AND ION BEAM ANALYSIS

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2008 - 2014

GROUPE DE RECHERCHE EN PHYSIQUE ET TECHNOLOGIE DES COUCHES MINCES (GCM) - INSTALLATION CENTRALE POUR LA FABRICATIONET LA CARACTERISATION DES MATERIAUX ET DISPOSITIFS DE POINTE

Lead researcher : Michel Lafleur
Co-researchers : Sjoerd Roorda , Richard Leonelli , François Schiettekatte , Antonella Badia , Richard Martel , Patrick Desjardins
Funding sources: Prima Québec
Grant programs:
2009 - 2013

DEVELOPING METHODS OF ULTRATHIN FILMS CHARACTERISATION: NANOCALORIMETRY AND ION BEAM ANALYSIS

Lead researcher : François Schiettekatte
2011 - 2012

ALUMINUM ADHESION OF POLYETHYLENE TEREPHTHALATE

Lead researcher : François Schiettekatte

Publications and presentations

Publications

Articles publiés (depuis 2018, nom en gras = membres du groupe)

136. K. J. Daniel, J. R. Smith, S. Ballmer, W. Bristol, J. C. Driggers, A. Effler, M. Evans, J. Hoover, K. Kuns, M. Landry, G. Lovelace, C. Lukinbeal, V. Mandic, K. Pham, J. Read, J. B. Russell, F. Schiettekatte, R. M. S. Schofield, C. A. Scholz, D. H. Shoemaker, P. Sledge, A. Strunk, Criteria for identifying and evaluating locations that could potentially host the Cosmic Explorer observatories, Rev. Sci. Instrum. 96, 014502 (2025).

135. P. Vinchon, S. Hamaguchi, S. Roorda, F. Schiettekatte, L. Stafford, Self-healing kinetics in monolayer graphene following very low energy ion irradiation, Carbon 233, 119852 (2025).

134. S. Bhowmick, R. Osovsky, A. Davenport, F. Schiettekatte, M. Chicoine, C. S. Menoni, Unveiling the cation ratio mediated structural modifications in TiO2: GeO2 mixtures for gravitational-wave detectors, Class. Quant. Grav. 41, 105007 (2024).

133. D. Diksha, A. Amato, V. Spagnuolo, G. I. McGhee, M. Chicoine, C. Clark, S. Hill, J. Hough, R. Johnston, R. Keil, Optical properties of germania and titania at 1064 nm and at 1550 nm, Class. Quant. Grav. 41, 125006 (2024).

132. L.-C. Fortier, M. Chicoine, S. Chouteau, M. Clausse, É. Lalande, A. W. Lussier, S. Roorda, L. Stafford, G. Terwagne, F. Schiettekatte, In plasma ion beam analysis of polymer layer and adsorbed H monolayer etching, Nucl. Instrum. Meth. B 554, 083305 (2024).

131. É. Lalande, A. Davenport, L. Marchand, A. Markosyan, D. Martinez, A. Paolone, M. Rezac, M. Bazzan, M. Chicoine, J. L. Colaux, M. Coulon, M. M. Fejer, A. W. Lussier, E. Majorana, L. Martinu, C. Menoni, C. Michel, F. Ricci, F. Schiettekatte, N. Shcheblanov, J. R. Smith, J. Teillon, G. Terwagne, G. Vajente, Ar transport and blister growth kinetics in titania-doped germania-based optical coatings, Class. Quant. Grav. 41, 115013 (2024).

130. A. W. Lussier, D. Bourbonnais-Sureault, M. Chicoine, R. Martel, L. Martinu, S. Roorda, F. Schi- ettekatte, Raman-based mapping and depth-profiling of the relaxation state in amorphous silicon, J. Appl. Phys. 135, 065301 (2024).

128. A. Aghdaei, A. Akbari-Sharbaf, M. Chicoine, F. Schiettekatte, G. Fanchini, D. Morris, Experimental evidence for spin–triplet states in titanium implanted AlN film: an electron spin resonance study, Physica B 654, 414708 (2023).

127. C. Gier, M. Ben Yaala, C. Wiseman, S. MacFoy, M. Chicoine, F. Schiettekatte, J. Hough, S. Rowan, I. Martin, P. MacKay, S. Reid, Controlling the optical properties of hafnium dioxide thin films deposited with electron cyclotron resonance ion beam deposition, Thin Solid Films 771, 139781 (2023).

126. G. I. McGhee, V. Spagnuolo, N. Demos, S. C. Tait, P. G. Murray, M. Chicoine, P. Dabadie, S. Gras, J. Hough, G. A. Iandolo, Titania mixed with silica: a low thermal-noise coating material for gravitational- wave detectors, Phys. Rev. Lett. 131, 171401 (2023).

124. K. Prasai, K. Lee, B. Baloukas, H.-P. Cheng, M. Fazio, L. Martinu, A. Mehta, C. S. Menoni, F. Schi- ettekatte, R. Shink, B. Shyam, G. Vajente, M. M. Fejer, R. Bassiri, Effects of elevated-temperature deposition on the atomic structure of amorphous Ta2O5 films, APL Mater. 11, 121112 (2023).

123.  P. Vinchon, S. Asadollahi, C. Coté, S. Marcet, S. Atallah, E. Dessureault, M. Chicoine, A. Sarkissian, R. Leonelli, S. Roorda, In-plasma analysis of plasma–surface interactions, Rev. Sci. Instrum. 94, 083305 (2023).

120.  M. Granata, A. Amato, M. Bischi, M. Bazzan, G. Cagnoli, M. Canepa, M. Chicoine, A. D. Michele, G. Favaro, D. Forest, G. M. Guidi, G. Maggioni, F. Martelli, M. Menotta, M. Montani, F. Piergiovanni, F. Schiettekatte, Optical and mechanical properties of ion-beam-sputtered MgF2 thin films for gravitational- wave interferometers, Phys. Rev. Appl 17, 034058 (2022).

119. C. Lévesque, S. Roorda, F. Schiettekatte, N. Mousseau, Internal mechanical dissipation mechanisms in amorphous silicon, Phys. Rev. Mater. 6, 123604 (2022).

118. A. W. Lussier, É. Lalande, M. Chicoine, C. Lévesque, S. Roorda, B. Baloukas, L. Martinu, G. Vajente, A. Ananyeva, F. Schiettekatte, Hydrogen concentration and mechanical dissipation upon annealing in zirconia-doped tantala thin films for gravitational wave observatory mirrors, in Journal of physics: conference series, Vol. 2326 (IOP Publishing, 2022), 012020.

116. M. Abernathy, A. Amato, A. Ananyeva, S. Angelova, B. Baloukas, R. Bassiri, G. Billingsley, R. Birney, G. Cagnoli, M. Canepa, M. Coulon, J. Degallaix, A. Di Michele, M. A. Fazio, M. M. Fejer, D. Forest, C. Gier, M. Granata, A. M. Gretarsson, E. M. Gretarsson, E. Gustafson, E. J. Hough, M. Irving, É. Lalande, C. Lévesque, A. W. Lussier, A. Markosyan, I. W. Martin, L. Martinu, B. Maynard, C. S. Menoni, C. Michel, P. G. Murray, C. Osthelder, S. Penn, L. Pinard, K. Prasai, S. Reid, R. Robie, S. Rowan, B. Sassolas, F. Schiettekatte, R. Shink, S. Tait, J. Teillon, G. Vajente, M. Ward, L. Yang, Exploration of co-sputtered Ta2O5–ZrO2 thin films for gravitational-wave detectors, Class. Quant. Grav. 38, 195021 (2021).

115. É. Lalande, A. W. Lussier, C. Lévesque, M. Ward, B. Baloukas, L. Martinu, G. Vajente, G. Billingsley, A. Ananyeva, R. Bassiri, M. M. Fejer, F. Schiettekatte, Zirconia-titania-doped tantala optical coatings for low mechanical loss Bragg mirrors, J. Vac. Sci. Technol. A 39, 043416 (2021).

113. H. Nozard, F. Schiettekatte, Arrhenius behavior of crystallization at up to 184 000 K/s in Ge2Sb2Te5 thin films, AIP Adv. 11, 085226 (2021).

112. F. Schiettekatte, Energy conservation strategies for electric vehicles on hills, Am. J. Phys 89, 1018–1025 (2021).

111. G. Vajente, L. Yang, A. Davenport, M. Fazio, A. Ananyeva, L. Zhang, G. Billingsley, K. Prasai, A. Markosyan, R. Bassiri, M. M. Fejer, M. Chicoine, F. Schiettekatte, C. S. Menoni, Low mechanical loss TiO2:GeO2 coatings for reduced thermal noise in gravitational wave interferometers, Phys. Rev. Lett. 127, 071101 (2021).

110. L. Yang, G. Vajente, M. Fazio, A. Ananyeva, G. Billingsley, A. Markosyan, R. Bassiri, K. Prasai, M. M. Fejer, M. Chicoine, F. Schiettekatte, C. S. Menoni, Enhanced medium-range order in vapor-deposited germania glasses at elevated temperatures, Sci. Adv. 7, eabh1117 (2021).

109. A. Aghdaei, R. Pandiyan, B. Ilahi, M. Chicoine, M. El Gowini, F. Schiettekatte, L. G. Frechette, D. Morris, Engineering visible light emitting point defects in Zr-implanted polycrystalline AlN films, J. Appl. Phys. 128, 245701 (2020).

108. M. Sun, S. Li, J. Zou, Z. Cui, Q. Zhang, F. Schiettekatte, D. Barba, B. Liu, Y. Wang, Graphene- wrapped ZnMn2O4 nanoparticles with enhanced performance as lithium-ion battery anode materials, Nano 15, 2050117 (2020).

107. S. Vallières, M. Salvadori, P. Puyuelo-Valdes, S. Payeur, S. Fourmaux, F. Consoli, C. Verona, E. d’Humières, M. Chicoine, S. Roorda, F. Schiettekatte, P. Antici, Thomson parabola and time-of-flight detector cross-calibration methodology on the ALLS 100 tw laser-driven ion acceleration beamline, Rev. Sci. Instrum. 91, 103303 (2020).1

105. A. Albert, M. André, M. Anghinolfi, M. Ardid, J.-J. Aubert, J. Aublin, T. Avgitas, B. Baret, J. Barrios- Martí, S. Basa, Search for multimessenger sources of gravitational waves and high-energy neutrinos with advanced LIGO during its first observing run, ANTARES, and IceCube, Astrophys. J. 870, 134 (2019).

104. K. Prasai, J. Jiang, A. Mishkin, B. Shyam, S. Angelova, R. Birney, D. A. Drabold, M. Fazio, E. K. Gustafson, G. Harry, S. Hoback, J. Hough, C. Lévesque, I. MacLaren, A. Markosyan, I. W. Martin, C. S. Menoni, P. G. Murray, S. Penn, S. Reid, R. Robie, S. Rowan, F. Schiettekatte, R. Shink, A. Turner, G. Vajente, H.-P. Cheng, M. M. Fejer, A. Mehta, R. Bassiri, High precision detection of change in intermediate range order of amorphous zirconia-doped tantala thin films due to annealing, Phys. Rev. Lett. 123, 045501 (2019).

103. S. Vallières, C. Bienvenue, P. Puyuelo-Valdes, M. Salvadori, E. d’Humières, F. Schiettekatte, P. Antici, Low-energy proton calibration and energy-dependence linearization of EBT-XD radiochromic films, Rev. Sci. Instrum. 90, 083301 (2019).

102. G. Vajente, R. Birney, A. Ananyeva, S. Angelova, R. Asselin, B. Baloukas, R. Bassiri, G. Billings- ley, M. M. Fejer, D. Gibson, L. J. Godbout, E. Gustafson, A. Heptonstall, J. Hough, S. MacFoy, A. Markosyan, I. W. Martin, L. Martinu, P. G. Murray, S. Penn, S. Roorda, S. Rowan, F. Schiettekatte, R. Shink, C. Torrie, D. Vine, S. Reid, R. X. Adhikari, Effect of elevated substrate temperature deposition on the mechanical losses in tantala thin film coatings, Class. Quant. Grav. 35, 075001 (2018).

101. J. Wang, S. H. Y. Huang, C. Herrmann, S. A. Scott, F. Schiettekatte, K. L. Kavanagh, Focussed helium ion channeling through Si nanomembranes, J. Vac. Sci. Technol. B 36, 021203 (2018).

Disciplines

  • Physics
  • Material Engineering and Metallurgic Engineering

Areas of expertise

  • Materials science
  • Defects and impurities in thin films: doping, implantation
  • Atom, molecule, and ion scattering
  • Deposition by sputtering
  • Kinetics of defect formation and annealing
  • Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
  • Heat capacity of amophous solids and glasses
  • Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization