Passer au contenu

/ Research

Je donne
Back to the list of professors Update your profile
Natural Sciences and Engineering; Engineering; Environment and Sustainable Development

Luc Stafford

Unusual plasma applications

Professeur titulaire

Faculté des arts et des sciences - Département de physique

Complexe des sciences, room B-4428

514 343-6542

luc.stafford@umontreal.ca

Media

Profile

Research expertise

Professor Stafford's work aims to set up a new platform devoted to the physicochemistry of cold plasmas highly reactive to atmospheric pressure and their applications to the synthesis and functionalization of materials and nanomaterials.

For more information…

Affiliations and responsabilities

Research affiliations

Research units

Titulaire

Membre

University service and activities

Activities within organizations or entities of the institution

Administrative responsibilities

  • Conseiller spécial à la vice-rectrice à la recherche, à la découverte à la création et à l’innovation
  • Président du comité des bourses du département de physique
  • Membre du comité des laboratoires du département de physique

Teaching and supervision

Student supervision

Theses and dissertation supervision (Papyrus Institutional Repository)

2024

Étude de décharges Ar-NH3 en simple et double fréquence à la pression atmosphérique

Graduate : Robert, Raphaël
Cycle : Doctoral
Grade : Ph. D.
2022

Modification de nanoparticules d’argent par jet de plasma à la pression atmosphérique

Graduate : Trahan, Julien
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2021

Étude fondamentale des interactions plasma-graphène dans les plasmas Argon/B2H6

Graduate : Vinchon, Pierre
Cycle : Doctoral
Grade : Ph. D.
2020

Modification of microfibrillated cellulose foams by atmospheric-pressure plasmas

Graduate : Meunier, Louis-Félix
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2019

Étude spectroscopique et électrique de décharges contrôlées par barrières diélectriques en régime multi-pics

Graduate : Pellerin Boudriau, Vincent
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2018

Étude spectroscopique des phénomènes de résonance dans les plasmas micro-ondes

Graduate : Boivin, Simon
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2018

Étude fondamentale du traitement du bois dans les plasmas N2-O2

Graduate : Prégent, Julien
Cycle : Doctoral
Grade : Ph. D.
2015

Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc

Graduate : Maaloul, Lanoir
Cycle : Doctoral
Grade : Ph. D.
2014

Modification des propriétés optiques de nanofils à base de GaN par plasma N2/O2

Graduate : Ferreira, Jason
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.

Projects

Research projects

2024 - 2030

Exploring new regimes of low-temperature plasma processes through space- and timeresolved optical diagnostics

Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2022 - 2029

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe (RQMP)

Lead researcher : François Schiettekatte
Co-researchers : Christian Reber , Sjoerd Roorda , Michel Côté , Richard Leonelli , Normand Mousseau , Antonella Badia , Richard Martel , Andrea Bianchi , Jean-François Masson , Luc Stafford , William Witczak-Krempa , Delphine Bouilly , Ahmad Hamdan , Nikolay Kornienko , Audrey Laventure , Philippe St-Jean , David Sénéchal , Nikolas Provatas , Louis L. Taillefer , Clara Santato , Fabio Cicoira , Lilian Childress , Michel Meunier , Ludvik Martinu , Anne-Marie Kietzig , Michel R. Wertheimer , Jolanta Klemberg-Sapieha , Jan Dubowski , Hong Guo , Mark Sutton , Peter H Grutter , R. Bruce Lennox , Michael Hilke , Paul William Wiseman , Guillaume Gervais , Bradley J. Siwick , Edward Sacher , Arthur Yelon , David Ménard , Yves-Alain Peter , André-Marie Tremblay , Claude Bourbonnais , Denis Morris , Dominique Drouin , René Côté , Patrick Fournier , Vincent Aimez , François Boone , Serge Charlebois , Frédéric Sirois , Dominic H Ryan , Patanjali Kambhampati , Richard Chromik , Thomas Szkopek , Walter Reisner , William A. Coish , David Cooke , Jack Clayton Sankey , Oussama Moutanabbir , Richard Arès , Luc Fréchette , Jeffrey Quilliam , Paul G. Charette , Stéphane Kéna-Cohen , Kirk H. Bevan , Tamar Pereg-Barnea , Hassan Maher , Ion Garate , Julien Sylvestre , David Danovitch , Yelena Simine , Stefanos Kourtis , Songrui Zhao , Kartiek Agarwal , Stephan Reuter , Samuel Cole Huberman
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2024 - 2028

Agricultural Genomics Action Centre: Innovation, Implementation and Impact for Climate Smart Agriculture

Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: Ontario Genomics
Grant programs:
2024 - 2028

Étude des décharges impulsionnelles dans et en contact avec l'eau par spectroscopie et imagerie ultrarapide à rayons X

Lead researcher : Ahmad Hamdan
Co-researchers : Luc Stafford , Hussein Amina , Émile Carbone
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT) , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-Programme NOVA pour chercheur(e)s de la relève (partenariat avec CRSNG) , PVXXXXXX-Programme NOVA pour chercheur(e)s de la relève (partenariat avec FRQNT)
2024 - 2028

Étude des décharges impulsionnelles dans et en contact avec l'eau par spectroscopie et imagerie ultrarapide à rayons X

Lead researcher : Ahmad Hamdan
Co-researchers : Luc Stafford , Hussein Amina , Émile Carbone
2023 - 2028

Agricultural Genomics Action Centre: Innovation, Implementation and Impact for Climate Smart Agriculture

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Génome Québec
Grant programs:
2024 - 2026

Dry processing of CO2RR electrodes with catalyst surface organic functionalization for a designed control of Faradic efficiency towards ethylene

Lead researcher : Mickaël Dollé
Co-researchers : Luc Stafford , David Sinton
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-Subventions Alliance - Option 1
2021 - 2026

Canada Research Chair in Physique des Plasmas Hautement Réactifs (PPHARE)

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: SPIIE/Secrétariat des programmes interorganismes à l’intention des établissements
Grant programs: PVX50399-Chaires de recherche du Canada
2023 - 2025

Optimisation d’une technologie basée sur les plasmas froids pour le traitement du cancer du sein

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: NexPlasmaGen inc.
Grant programs:
2023 - 2025

Entente de financement DRAC24028-24036

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Alliance de recherche numérique du Canada
Grant programs:
2022 - 2025

Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition of multifunctional and sustainable nanocomposite coatings (RI-plasma)

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Davit Zargarian , Ludvik Martinu , Jolanta Klemberg-Sapieha
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG) , Prima Québec
Grant programs: PVXXXXXX-Subventions Alliance - Option 1 ,
2022 - 2025

Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition of multifunctional and sustainable nanocomposite coatings (RI-plasma)

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Davit Zargarian , Ludvik Martinu , Jolanta Klemberg-Sapieha
2022 - 2025

Nouveaux procédés basés sur un réacteur-injecteur de nanoparticules pour le dépôt par plasma de couches minces nanocomposites multifonctionnelles (RI-Plasma)_Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Davit Zargarian , Ludvik Martinu , Jolanta Klemberg-Sapieha
Funding sources: Groupe Safran
Grant programs:
2022 - 2025

Nouveaux procédés basés sur un réacteur-injecteur de nanoparticules pour le dépôt par plasma de couches minces nanocomposites multifonctionnelles (RI-Plasma)_Development of new processes based on a reactor-injector of nanoparticles for plasma deposition

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Davit Zargarian , Ludvik Martinu , Jolanta Klemberg-Sapieha
Funding sources: Plasmionique inc.
Grant programs:
2021 - 2025

Nouveaux procédés basés sur un réacteur-injecteur de nanoparticules pour le dépôt par plasma de couches minces nanocomposites multifonctionnelles (RI-plasma)

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Davit Zargarian , Ahmad Hamdan , Ludvik Martinu
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2018 - 2025

Diagnostics of cold and highly reactive plasmas applied to complex materials and nanomaterials processing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2021 - 2024

Calcul-Quebec_calcul_haute_performance_et_quantique_UdeM

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Ministère Économie et Innovation
Grant programs: PVXXXXXX-Soutien aux organismes de recherche et innovation (PSO) - Volet 2: Soutien aux projets
2017 - 2024

FEI Sans Restriction ISM2 de Calcul Canada/Calcul Québec

Lead researcher : Paul Charbonneau , Laurent J. Lewis , Luc Stafford
Funding sources: Université de Montréal
Grant programs:
2022 - 2023

Nanostructured anti-reflective glass for lenses, electronic displays, and photovoltaics

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération Québec - MITACS
2021 - 2023

Ultrahigh-resolution emission and absorption spectroscopy of nonequilibrium and highlyreactive plasmas applied to complex materials processing

Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(OIR) Outils et d'instruments de recherche (de 7 001 $ à 150 000 $)
2017 - 2023

Green Surface Engineering for Advanced Manufacturing (Green-SEAM)

Lead researcher : Christian Moreau
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques
2020 - 2022

New hyperspectral imager with Bragg tunable filters for multiscale and multiphase analysis of nonequilibrium plasmas

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(OIR) Outils et d'instruments de recherche (de 7 001 $ à 150 000 $)
2017 - 2022

Green Surface Engineering for Advanced Manufacturing (Green-SEAM)

Lead researcher : Christian Moreau
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques
2016 - 2022

FGR-CRSNG_2015_2019

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-FGR - Subvention de recherche institutionnelle
2020 - 2021

NSERC Green-SEAM Strategic Network Research - Supplemental Funding

Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20966-Programme de subventions de réseaux stratégiques
2020 - 2021

Supplément COVID-19 CRSNG_Diagnostics of cold and highly reactive plasmas applied to complex materials and nanomaterials processing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-Supplément à l’appui des étudiants, des stagiaires postdoctoraux et du personnel de soutien à la recherche COVID-19
2020 - 2021

Hyperfine emission and absorption spectroscopy of a new microwave plasma source at atmospheric pressure: application to the reduction of Ti powders for additive manufacturing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération Québec - MITACS
2019 - 2021

Development and optimization of a new roll-to-roll atmospheric pressure plasma reactor: deposition of functional nanocomposite coatings on Polymer and Paper Rolls

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération - Bourse industrielle pour chercheurs postdoctoraux - MITACS
2019 - 2021

Partial oxide reduction of Ti-6Al-4V fine and spherical powders by non-thermal argon-hydrogen microwave plasmas for additive manufacturing

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PV128974-(EGP) Programme de subvention d'engagement partenarial
2016 - 2021

Chaire du Canada en science et applications des plasmas froids hautement réactifs à la pression

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: SPIIE/Secrétariat des programmes interorganismes à l’intention des établissements
Grant programs: PVX50399-Chaires de recherche du Canada
2017 - 2020

Nouvelle plateforme d'innovation en science et applications des plasmas froids à la pression atmosphérique

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs: PVXXXXXX-Fonds d'exploitation des infrastructures (FEI)
2018 - 2019

Development and Optimization of a New Roll-to-Roll Atmospheric Pressure Plasma Reactor : Deposition of Functional Nanocomposite Coatings on Polymer and Paper Rolls.

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: MITACS Inc.
Grant programs: PVXXXXXX-Stage Accélération Québec - MITACS
2017 - 2019

Operations and Maintenance Support for Canadensys: Pancanadian Biodiversity Informatics Network and Portal

Lead researcher : Anne Bruneau
Co-researchers : Lawrence C. Smith , James D. Wuest , Stéphane Molotchnikoff , Maurice Ptito , Jacques Thibodeau , Davit Zargarian , Richard Robitaille , Elvire Vaucher , Éric Milot , Pierre Jolicoeur , Carl A. Gagnon , Nathalie Grandvaux , René Doyon , Numa Dancause , Graziella Di Cristo , Roxane Maranger , Jean Rivoal , Anne-Noël Samaha , Luc Stafford , Patrick Hayes , Elitza Tocheva , James King , Serge McGraw , Jean-François Lapierre , Rafael Josef Najmanovich
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(OIR) Outils et d'instruments de recherche (de 7 001 $ à 150 000 $)
2016 - 2019

Développement de procédés souples et verts basés sur les plasmas froids pour la fonctionnalisation de fibres ligno-cellulosiques

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: Plasmionique inc. , Prima Québec , FPInnovations , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: , , , PVX20973-(RDC-CRD) Partenariat de recherche / Subvention de recherche et développement coopérative
2015 - 2019

DEVELOPPEMENT DE NOUVELLES METHODES BASEES SUR LES PLASMAS HORS EQUILIBRE POUR LA MODIFICATION POST-CROISSANCE DU GRAPHENE

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Michel Côté , Richard Leonelli , Richard Martel
Funding sources: Photon Etc , Plasmionique inc. , Prima Québec , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: , , , PVX20973-(RDC-CRD) Partenariat de recherche / Subvention de recherche et développement coopérative
2015 - 2019

Nouvelles méthodes basées sur les plasmas pour la fonctionnalisation post-croissance du graphène

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Michel Côté , Richard Leonelli
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2013 - 2019

DIAGNOSTICS OF COLD AND HIGHLY REACTIVE PLASMAS APPLIED TO COMPLEX MATERIALS PROCESSING

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2016 - 2018

Développement de procédés souples et verts basés sur les plasmas froids pour la fonctionnalisation de fibres ligno-cellulosiques

Lead researcher : Luc Stafford
2015 - 2018

DEVELOPPEMENT DE NOUVELLES METHODES BASEES SUR LES PLASMAS HORS EQUILIBRE POUR LA MODIFICATION POST-CROISSANCE DU GRAPHENE

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Michel Côté , Richard Leonelli , Richard Martel
2015 - 2017

PLASMA-QUEBEC

Lead researcher : Joëlle Margot
Co-researchers : Michel Moisan , Luc Stafford , Lionel Roué , Mohammed Chaker , Roberto Morandotti , Jean-Luc Meunier , Dimitrios Berk , Sylvain Coulombe , Anne-Marie Kietzig , Pierre-Luc Girard-Lauriault , Michel R. Wertheimer , Ali Dolatabadi , François Gitzhofer , Jan Dubowski , Gamal Baroud , Jean-Claude Kieffer , Alain Pignolet , José Azana , Federico Rosei , François Vidal , Tsuneyuki Ozaki , Dongling Ma , Andreas Ruediger , Nadi Braidy , Patrizio Antici , Rolf Wuthrich , Claudia Champagne , Luca Razzari , Shuhui Sun , François Légaré , Fiorenzo Vetrone , Aycan Yurtsever , Christian Moreau
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2013 - 2017

NOUVELLE PLATEFORME D'INNOVATION EN SCIENCE ET APPLICATIONS DES PLASMAS FROIDS À LA PRESSION ATMOSPHERIQUE

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs:
2013 - 2017

DEVELOPMENT OF SMART GLASS MATERIALS: SURFACE ENGINEERING OF ANTI-FOG AND SELF CLEANING GLASS USING DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE PLASMAS AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Lead researcher : Gaétan Laroche
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: Multiver Ltée , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: , PVX20973-(RDC-CRD) Partenariat de recherche / Subvention de recherche et développement coopérative
2011 - 2017

FGR_CRSNG_2016-2017

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG) , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-FGR - Subvention de recherche institutionnelle , PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques
2008 - 2017

PLASMA-QUEBEC

Lead researcher : Joëlle Margot
Co-researchers : Antonio Nanci , Isabelle Brunette , Michel Moisan , Luc Stafford , Jean Barbeau , Mohammed Chaker , Roberto Morandotti , Ludvik Martinu , Richard J Munz , Jean-Luc Meunier , Dimitrios Berk , Éric Dunbar Salin , Sylvain Coulombe , Richard L. Leask , Anne-Marie Kietzig , Pierre-Luc Girard-Lauriault , Michel R. Wertheimer , Jolanta Klemberg-Sapieha , Ali Dolatabadi , Denis Gravelle , Maher Boulos , Pierre Proulx , François Gitzhofer , Jan Dubowski , Gamal Baroud , Jocelyn Veilleux , Claude Boucher , Tudor Wyatt Johnston , Jean-Claude Kieffer , François Martin , Jean-Pierre Matte , Royston Paynter , Henri Pépin , Guy Ross , Barry Stansfield , M. El Khakani , Alain Pignolet , José Azana , Federico Rosei , François Vidal , Tsuneyuki Ozaki , Dongling Ma , Andreas Ruediger , Jerzy Jurewicz , Roman Kruzelecky , Frederic Larouche , Louis-Philippe Masse , Christian Moreau , Darius Nikanpour , Mohamed Sabsabi , Andranik Sarkissian , Dominic Tessier , Nadi Braidy , Christian-Yves Cote , Richard Dolbec , Emile Haddad , Denis Boudreau , Diego Mantovani , Philippe Merel
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2013 - 2016

DEVELOPMENT OF SMART GLASS MATERIALS: SURFACE ENGINEERING OF ANTI-FOG AND SELF-CLEANING GLASS USING DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE PLASMAS AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Lead researcher : Gaétan Laroche
Co-researchers : Luc Stafford
Funding sources: Multiver Ltée , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: ,
2012 - 2016

PORTION APPAREILLAGE-DECHARGES FROIDES HOMOGENES A LA PRESSION ATMOSPHERIQUE ET LEUR APPLICATION A LA SYNTHESE DE COUCHES BARRIERES NANOCOMPOSITES SUR LE BOIS

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Michel Moisan , Sylvain Coulombe , Bernard Riedl
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2012 - 2016

DECHARGES FROIDES HOMOGENES A LA PRESSION ATMOSPHERIQUE ET LEUR APPLICATION A LA SYNTHESE DE COUCHES BARRIERES NANOCOMPOSITES SUR LE BOIS.

Lead researcher : Luc Stafford
Co-researchers : Michel Moisan , Sylvain Coulombe , Bernard Riedl
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2011 - 2016

LABORATOIRE D'INTERACTIONS PLASMAS-COUCHES MINCES ET PLASMAS-NANOMATERIAUX

Lead researcher : Luc Stafford
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs:
2011 - 2013

DEVELOPMENT OF FUNCTIONAL, NANOSTRUCTURED COATINGS ON WOOD SURFACES USING COLD, ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMAS

Lead researcher : Luc Stafford
2008 - 2012

FUNDAMENTALS OF PLASMA-SURFACE INTERACTIONS IN COMPLEX MATERIALS PROCESSING

Lead researcher : Luc Stafford
2011

STUDY OF THE SURFACE ROUGHENING DYNAMICS AND FEATURE PROFILE EVOLUTION IN PLASMA ETCHING OF AIN THIN FILMS FOR ADVANCED MEMS MICROFABRICATION

Lead researcher : Luc Stafford
2008

SPECTROSCOPIC ELLESPOMETER FOR IN-SITU INVESTIGATIONS OF PLASMA-SURFACE INTERACTIONS

Lead researcher : Luc Stafford

Disciplines

  • Physics
  • Material Engineering and Metallurgic Engineering
  • Chemical Engineering
  • Chemistry
  • Environment and Sustainable Development

Areas of expertise

  • Physics of plasmas and electric discharges
  • Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization
  • Plasma-based ion implantation and deposition
  • Plasma diagnostic techniques and instrumentation
  • Plasma etching and cleaning
  • Plasma-material interactions
  • Chemical vapor deposition
  • Canada (Québec)
  • Energy resources