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Natural Sciences and Engineering; Engineering

François Schiettekatte

Dynamics and uses of implantation defects in semiconductors

Professeur titulaire

Faculté des arts et des sciences - Département de physique

Roger-Gaudry, room V233

514 343-6049

francois.schiettekatte@umontreal.ca

Secondary number: 514 343-6215 (Télécopieur)

Media

Regroupement québécois des matériaux de pointe

François Schiettekatte est directeur adjoint du Regroupement québécois des matériaux de pointes (RQMP). - ©RQMP

François Schiettekatte est directeur adjoint du Regroupement québécois des matériaux de pointes (RQMP).

Laboratoire de faisceaux d'ions

Lorsqu'on circule dans le gigantesque laboratoire des accélérateurs de particules, au Laboratoire René-J.- A.-Lévesque, on est frappé par la densité des sculptures métalliques de toutes tailles qui s'enchevêtrent à travers les ordinateurs et les modules électroniques. Ici trône le plus puissant accélérateur de faisceaux d'ions du pays, le Tandem, avec ses six millions de volts.

François Schiettekatte - Université

Cette vidéo a été réalisée dans le cadre du projet Paroles de chercheur-es qui a permis de recueillir les impressions de 41 chercheur-es québécois-es sur quatre thématiques liées à l'importance et la fonction de la recherche indépendante dans la société, soient : L'université, La recherche indépendante, La figure de l'intellectuel et Menaces et périls.

François Schiettekatte - Recherche indépendante

Cette vidéo a été réalisée dans le cadre du projet Paroles de chercheur-es qui a permis de recueillir les impressions de 41 chercheur-es québécois-es sur quatre thématiques liées à l'importance et la fonction de la recherche indépendante dans la société, soient : L'université, La recherche indépendante, La figure de l'intellectuel et Menaces et périls.

François Schiettekatte - Figure de l'intellectuel

Cette vidéo a été réalisée dans le cadre du projet Paroles de chercheur-es qui a permis de recueillir les impressions de 41 chercheur-es québécois-es sur quatre thématiques liées à l'importance et la fonction de la recherche indépendante dans la société, soient : L'université, La recherche indépendante, La figure de l'intellectuel et Menaces et périls.

François Schiettekatte - Menaces et périls

Cette vidéo a été réalisée dans le cadre du projet Paroles de chercheur-es qui a permis de recueillir les impressions de 41 chercheur-es québécois-es sur quatre thématiques liées à l'importance et la fonction de la recherche indépendante dans la société, soient : L'université, La recherche indépendante, La figure de l'intellectuel et Menaces et périls.

Profile

Research expertise

Ion implantation is a technique for modifying the surface of materials by injecting precise quantities of atoms at the desired depth. It is widely used in doping semiconductors when manufacturing very large-scale integrated circuits (VLSI). Since it is a highly out-of-balance phenomenon (the incident atoms typically have energies millions of times higher than the atoms in the material), this implantation often generates new structures at the atomic level that can be exploited to improve the performance of high-tech materials, or may create problems to be overcome.

For instance, during the doping process, implantation creates defects in semiconductors by displacing crystal atoms, and this is damaging to integrated circuits. If there are not too many defects, the damage can be corrected by annealing and the dopant activated. If the density of the defects exceeds a certain threshold, however, permanent damage will appear in the materials and may make the devices unusable.

Inversely, ion implantation generates defects that can be used to modify materials. Implantation makes it possible to create defects near the surface that can later diffuse throughout the material and modify the composition of the lower layers by interdiffusion. In this way it is possible to change the emission wavelengths of quantum dots or wells and the properties of the magnetic layers.

Ion beams can also be used for highly sensitive quantitative measurement of the deep distribution of atoms in a material. In our laboratories we use various ion beam analysis techniques, in particular elastic recoil detection (ERD), a technique developed in our laboratories in the 1970s, and Rutherford backscattering spectrometry (RBS), RBS channelling and nuclear resonant reaction analysis (NRRA).

Biography

François Schiettekatte fait partie du groupe de matière condensée du département de physique de l'Université de Montréal. Il est entre autres spécialiste en analyse et modification des matériaux par faisceaux d'ions et en mesure de l’évolution thermique des nanostructures par nanocalorimétrie. Il est co-directeur du Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces (31 professeurs, 200 personnes au total). Expert régulièrement invité dans des conférences internationales, il a fait partie de différents comités internationaux notamment auprès de l’AIEA.

Affiliations and responsabilities

Teaching and supervision

Student supervision

Theses and dissertation supervision (Papyrus Institutional Repository)

2018

Évolution des défauts dans les fibres optiques irradiées

Graduate : Laplante, Caroline
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2011

Structures photoniques à base de nanocristaux de silicium

Graduate : Bibeau-Delisle, Alexandre
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.
2006

Étude de l'évolution thermique du dommage d'implantation dans le silicium par nanocalorimétrie

Graduate : Karmouch, Rachid
Cycle : Doctoral
Grade : Ph. D.
2005

Relaxation du silicium amorphe étudiée par nanocalorimétrie

Graduate : Mercure, Jean-François
Cycle : Master's
Grade : M. Sc.

Projects

Research projects

2019 - 2022

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe ( RQMP )

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2015 - 2022

CALCUL QUEBEC

Lead researcher : Paul Charbonneau , Timothée Poisot
Co-researchers : Jesse Shapiro , Mohamed Hijri , Daniel Sinnett , Mark E. Samuels , Laurent J. Lewis , Normand Mousseau , Anne Bruneau , Georges Michaud , François Schiettekatte , Rémy Sauvé , Michel Côté , Pierre-Louis Bellec , Damian Labuda , Jacques Drouin , Louis Jean Dubé , Guy Dumas , Marc Parizeau , Louis Pérusse , Alain De Champlain , Daniel Reinharz , Hugo Martel , Christian Gagné , Arnaud Droit , Frédéric Maps , R Platt , Alan C Evans , W Robert J Funnell , Hong Guo , Victoria Kaspi , Sang Yong Jeon , Nikolas Provatas , Russell Davidson , Jackalyn Marie Vogel , Nicolas Moitessier , Guy Moore , Sivakumaran Nadarajah , Abdelkader Baggag , Erica Moodie , Jacek A. Majewski , Andrew Piper , Luc Mongeau , Guillaume Bourque , Stefan Sinclair , Daniel Joseph Kirshbaum , Jun Song , Brigitte Jaumard , Jean-Yves Trépanier , François Guibault , François Bertrand , Alain Rochefort , Frédéric Sirois , Éric Laurendeau , Georges Dionne , Wagdi Habashi , G. Peslherbe , Thomas Fevens , Marius Paraschivoiu , Ali Dolatabadi , André Dieter Bandrauk , André-Marie Tremblay , Pierre Proulx , Noureddine Atalla , David Sénéchal , Armand Soldera , Kalifa Goïta , Alexandre Blais , Claude Legault , Stéphane Moreau , Hugo Larochelle , Pierre-Étienne Jacques , Gabriel Crainic , René Laprise , Pierre Gauthier , Laxmi Sushama , Simon Guillotte , Adam Skorek , Patrizio Antici , Dany Dumont , François Vidal , Jannette Frandsen , Lorne Archie Nelson , Martin Aube , Leandro Coelho
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2014 - 2022

EVOLUTION OF NANOSCALE GLASSES

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2017 - 2021

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe (RQMP) Hosted by McGill 2017-2021

Lead researcher : Michael Hilke
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2015 - 2021

Regroupement québécois sur les matériaux de pointe

Lead researcher : Louis L. Taillefer
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2016 - 2020

Plateforme d'iinovation en procédés plasma avec caractérisation in-plasma des matériaux et nanomatériaux

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs: PVXXXXXX-Fonds d'innovation
2016 - 2017

Plateforme d'iinovation en procédés plasma avec caractérisation in-plasma des matériaux et nanomatériaux

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: FCI/Fondation canadienne pour l'innovation
Grant programs: PVXXXXXX-Fonds d'innovation
2013 - 2016

REGROUPEMENT QUEBECOIS SUR LES MATERIAUX DE POINTE (RQMP)

Lead researcher : François Schiettekatte
Co-researchers : Louis L. Taillefer
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2013 - 2016

DEVELOPMENT OF GERMANIUM FIBER BRAGG GRATINGS AND ER-DOPED FIBER AMPLIFIERS FOR OPERATION IN HARSH ENVIRONMENTS

Lead researcher : Federico Rosei
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG) , CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20967-(SPS/SPG) Subventions de projets stratégiques ,
2012 - 2016

DETECTEURS TERAHERTZ A BASE D'INGAASP ET SYSTÈME D'IMAGERIE THZ EN CHAMP PROCHE

Lead researcher : Denis Morris
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2009 - 2016

REGROUPEMENT QUEBECOIS SUR LES MATERIAUX DE POINTE - RQMP

Lead researcher : Sjoerd Roorda
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2009 - 2016

REGROUPEMENT STRATEGIQUE - REGROUPEMENT QUEBECOIS SUR LES MATERIAUX DE POINTE (RQMP)

Lead researcher : Sjoerd Roorda
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PVXXXXXX-(RS) Programme de regroupements stratégiques
2012 - 2015

DETECTEURS TERAHERTZ A BASE D'INGAASP ET SYSTÈME D'IMAGERIE THZ EN CHAMPS PROCHE

Lead researcher : Denis Morris
Co-researchers : François Schiettekatte
Funding sources: FRQNT/Fonds de recherche du Québec - Nature et technologies (FQRNT)
Grant programs: PV113724-(PR) Projets de recherche en équipe (et possibilité d'équipement la première année)
2011 - 2015

CANADIAN CHARGED PARTICLE ACCELERATOR CONSORTIUM (CCPAC)

Lead researcher : Sjoerd Roorda
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVXXXXXX-(ARM/MRS) Appui aux ressources majeures - Major resources support
2001 - 2015

DEVELOPING METHODS OF ULTRATHIN FILMS CHARACTERISATION: NANOCALORIMETRY AND ION BEAM ANALYSIS

Lead researcher : François Schiettekatte
Funding sources: CRSNG/Conseil de recherches en sciences naturelles et génie du Canada (CRSNG)
Grant programs: PVX20965-(RGP) Programme de subvention à la découverte individuelle ou de groupe
2008 - 2014

GROUPE DE RECHERCHE EN PHYSIQUE ET TECHNOLOGIE DES COUCHES MINCES (GCM) - INSTALLATION CENTRALE POUR LA FABRICATIONET LA CARACTERISATION DES MATERIAUX ET DISPOSITIFS DE POINTE

Lead researcher : Michel Lafleur
Co-researchers : Richard Martel , Richard Leonelli , Sjoerd Roorda , François Schiettekatte , Antonella Badia , Patrick Desjardins
Funding sources: Prima Québec
Grant programs:
2009 - 2013

DEVELOPING METHODS OF ULTRATHIN FILMS CHARACTERISATION: NANOCALORIMETRY AND ION BEAM ANALYSIS

Lead researcher : François Schiettekatte
2011 - 2012

ALUMINUM ADHESION OF POLYETHYLENE TEREPHTHALATE

Lead researcher : François Schiettekatte

Outreach

Publications and presentations

Publications

Articles publiés ou acceptés

  1. L.K. Béland, Y. Anahory, D. Smeets, M. Guihard, P. Brommer, J.-F. Joly, J.-C. Pothier, L.J. Lewis, N. Mousseau, F. SchiettekatteReplenish and Relax: Explaining Logarithmic Annealing in Ion-Implanted c-Si, Phys. Rev. Lett. 111 (2013) 105502
  2. P. Turcotte-Tremblay, M. Guihard, S. Gaudet, M. Chicoine, C. Lavoie, P. Desjardins, F. SchiettekatteThin film Ni-Si solid-state reactions: Phase formation sequence on amorphized Si, J. Vac. Sci. Technol. B 31 (2013) 051213
  3. F. Schiettekatte, Tails, Nucl. Instrum. Meth. B, revised version submitted (2013/11)
  4. A. Fekecs, M. Chicoine, B. Ilahi, F. Schiettekatte, P.G. Charette, R. Ares, Towards semi-insulating InGaAsP/InP layers by post-growth processing using Fe ion implantation and rapid thermal annealing, J. Phys. D: Appl. Phys 46 (2013) 165106
  5. M. Molina-Ruiz, A. F. Lopeandía, M. González-Silveira, Y. Anahory, M. Guihard, G. Garcia, M. T. Clavaguera-Mora, F. Schiettekatte, J. Rodríguez-Viejo, Formation of Pd2Si on single-crystalline Si (100) at ultrafast heating rates: An in-situ analysis by nanocalorimetry, Appl. Phys. Lett. 102(2013) 143111
  6. A. Fekecs, M. Bernier, D. Morris, M. ChicoineF. Schiettekatte, P. Charette, and R. Arès, Fabrication of high resistivity cold-implanted InGaAsP photoconductors for efficient pulsed terahertz devices, Optical Materials Express 1 (2011) 1165
  7. M. Mayer, W. Eckstein, H. Langhuth, F. Schiettekatte, U. von Toussaint, Computer Simulation of Ion Beam Analysis: Possibilities and Limitations. Nucl. Instrum. Meth. B 269 (2011) 3006
  8. J.-C. Pothier, F. Schiettekatte, L.J. Lewis, Flowing damage in ion-implanted amorphous silicon, Phys. Rev. B 83 (2011) 235206
  9. L. Hu, L. de la Rama, M. Efremov, Y. Anahory, F. Schiettekatte, L. H. Allen, Leslie, Synthesis and Characterization of Single-Layer Silver-Decanethiolate Lamellar Crystals, J. Amer. Chem. Soc. 133 (2011) 4367
  10. Y. Anahory, M. Guihard, D. Smeets, R. KarmouchF. Schiettekatte, Ph. Vasseur, P. Desjardins, Liang Hu, L.H. Allen, E. Leon-Gutierrez, J. Rodriguez-Viejo, Fabrication, characterization and modeling of single-crystal thin film calorimeter sensors, Thermochim. Acta 510 (2010) 126.
  11. H. Kallel N. Mousseau, F. SchiettekatteEvolution of the Potential-Energy Surface of Amorphous Silicon Phys. Rev. Lett. 105 (2010) 045503.
  12. D. Barba, D. Koshel, F. Martin, G.G. Ross, M. Chicoine, F. Schiettekatte, M. Yedji, J. Demarche, G. Terwagne, Silicon nanocrystal synthesis by implantation of natural Si isotopes, J. Luminescence 130 (2010) 669.
  13. R. Kumaran, S.E. Webster, S. Penson, W. Li, T. Tiedje, P. Wei, F. SchiettekatteEpitaxial neodymium-doped sapphire films, a new active medium for waveguide lasers, Optics Lett. 34 (2009) 3358.
  14. O. Moutanabbir, YJ. Chabal, M. Chicoine, S. Christiansen, R. Krause-Rehberg, F. Schiettekatte, R. Scholz, O. Seitz, S. Senz, F. Süßkraut, U. Gösele, Mechanisms of ion-induced GaN thin layer splitting, Nucl. Instr. Meth. B267 (2009) 1264.
  15. M. Guihard, P. Turcotte-Tremblay, S. Gaudet, C. Coia, S. Roorda, P. Desjardins, C. Lavoie, F. Schiettekatte, Controlling nickel silicide phase formation by Si implantation damage, Nucl. Instr. Meth. B267 (2009) 1285.
  16. J.-F. Desjardins, M. Chicoine, F. Schiettekatte, D. Barba, F. Martin, G.G. Ross, Impact of Ni co-implantation on Si nanocrystals formation and luminescence, Nucl. Instr. Meth. B267 (2009) 1317.
  17. I.B. Radovic, M. Jaksic, F. SchiettekatteTechnique for sensitive carbon depth profiling in thin samples using C-C elastic scattering24 (2009) 194.
  18. F. SchiettekatteFast Monte Carlo for Ion Beam Analysis Simulations, Nucl. Instr. Meth. B266 (2008) 1880.
  19. C. Dion, P. Desjardins, F. Schiettekatte, M. Chicoine, M. D. Robertson, N. Shtinkov, P. J. Poole, X. Wu, S. Raymond, Vacancy-mediated intermixing in InAs/InP(001) quantum dots subjected to ion implantation, J. Appl. Phys. 104, (2008) 043527.
  20. O. Moutanabbir, R. Scholz, S. Senz, U. Gösele, M. ChicoineF. Schiettekatte, F. Süßkraut, R. Krause-Rehberg, Microstructural evolution in H ion induced splitting of freestanding GaN, Appl. Phys. Lett. 93 (2008) 031916
  21. P.J. Simpson, A.P. Knights, M. Chicoine, K. Dudeck, O. Moutanabbir, S.Ruffell, F. Schiettekatte, B. Terreault, Thermal evolution of defects produced by implantation of H, D and He in Silicon, App. Surf. Sci. 255 (2008) 63.
  22. N. Desrosiers, A. Giguère, B. Terreault, M. ChicoineF. SchiettekatteImplantation effects of low energy H and D ions in germanium at -120 °C and room temperature. Nucl. Instr. Meth. B266 (2008) 1880
  23. C. Dion, P. Desjardins, N. Shtinkov, F. Schiettekatte, P. J. Poole, and S. Raymond, Effects of grown-in defects on interdiffusion dynamics in InAs/InP(001) quantum dots subjected to rapid thermal annealing, J. Appl. Phys. 103 (2008) 083526
  24. C. Dion, P. Desjardins, N. Shtinkov, M. D. Robertson, F. Schiettekatte, P. J. Poole, S. Raymond, Intermixing during growth of InAs self-assembled quantum dots in InP: A photoluminescence and tight-binding investigation, Phys. Rev. B77 (2008)075338
  25. L. Stafford, W.T. Lim, S.J. Pearton, Ju-Il Song, J.-S. Park, Y.-W. Heo, J.-H. Lee, J.-J. Kim, M. ChicoineF. SchiettekatteDeep etch-induced damage during ion-assisted chemical etching of sputtered indium-zinc-oxide films in Ar/CH4/H2 plasmas, Thin Solid Films 516 (2008) 2869
  26. L. Stafford, W.T. Lim, S.J. Pearton, M. ChicoineF. Schiettekatte, J.-I. Song, J.-S. Park, Y.W. Heo, J.-H. Lee, J.-J. Kim, I.I. Kravchenko, Influence of the film properties on the plasma etching dynamics of rf-sputtered indium-zinc-oxide layers, J. Vac. Sci. Technol. A25 (2007) 659
  27. R. Karmouch, Y. Anahory, J.-F. Mercure, D. Bouilly, M. Chicoine, G. Bentoumi, R. Leonelli, Y.Q. WangF. SchiettekatteDamage evolution in low-energy-ion implanted silicon, Phys. Rev. B75 (2007) 075304
  28. O. Moutanabbir, B. Terreault, M. ChicoineF. Schiettekatte, P. J. Simpson, Influence of isotopic substitution and He coimplantation on defect complexes and voids induced by H ions in silicon, Phys. Rev. B75 (2007) 075201
  29. C. Dion, P. Desjardins, M. ChicoineF. Schiettekatte, P.J. Poole, S. Raymond, Drastic ion-implantation-induced intermixing during annealing of self-assembled InAs/InP(001) quantum dots, Nanotechnology 18 (2007) 015404
  30. P. Wei, S.C. Gujrathi, M. GuihardF. SchiettekatteCross-section for 14N(α, p0)17O reaction in the energy range 3.2–4.0 MeV, Nucl. Instrum. Meth B249 (2006) 85.

Communications

Comptes-rendus de conférences

(depuis 2000)

  1. F. SchiettekatteSimulation of Multiple Scattering Effects on CoincidenceAIP Conf. Proc. 1099 (2009) 314.
  2. C. Dion, P. Desjardins, F. Schiettekatte, M. Chicoine, P. J. Poole, S. Raymond, Tuning the Electronic Properties of Self-Assembled InAs/InP(001) Quantum Dots, Meet. Abstr. Electrochem. Soc. 602 (2006) 1269.
  3. O. Moutanabbir, B. Terreault, N. Desrosiers, A. Giguère, G. G. Ross, M. ChicoineF. Schiettekatte, Hydrogen Cleaving of Silicon at the Sub-100-nm Scale AIP Conf. Proc. 772 (2005) 1491
  4. M. Chicoine, A. Francois, C. Tavares, S. Chevobbe, F. Schiettekatte, V. Aimez, J. Beauvais, J. Beerens, Effects of damage accumulation on quantum well intermixing by low-energy ion implantation in photonic devices, SPIE 5260 (2004) 423
  5. R. Taillefer, P.Desjardins, F. SchiettekatteA Finite Element Model of Ultra-Sensitive Thin Film Calorimeters for the Study of Size-Dependent Thermodynamical Properties of Materials at the Nanoscale, Proceedings of the first Annual Northeast Workshop on Circuits and Systems (IEEE-NEWCAS2003), Montreal, Canada, June 2003, pp. 129-132.
  6. F. Schiettekatte, V. Aimez, M. Chicoine, S. Chevobbe, J.F. Chabot, J.F. Rajotte. Low energy ion implantation induced intermixing in photonic devices: defects profiling and evolution, Proceedings of the 17th Conference on the Application of the Accelerators in Research and Industry. AIP Conf. Proc. 680 (2003) 609
  7. M. Zhang, M. Yu. Efremov, F. Schiettekatte, E. A. Olson, and L. H. Allen. "Magic" Nanostructures During The Early Stage of Thin Film Growth 2001 Spring Meeting Proceedings 672 (2001) O5.3, Material Research Society
  8. S. Roorda, F. Schiettekatte, M. Cai, T. Veres, A. Tchebotareva. MeV ion implantation for modification of electronic, optical, and magnetic materials SPIE 3413 (1998) 165
  9. F. Schiettekatte, G.G. Ross. ERD spectrum to depth profile conversion program for Windows. Proceeding of the 14th International Conference on the Applicationof Accelerators in Research and Industry. AIP Conf. Proc. 392 (1997) 711
  10. D. Kéroack, F. Schiettekatte, B. Terreault, G.G. Ross. Laser Desorption and Depth Profiling Study of H and D in Implanted Be. Proceedings of International Conference on Fusion Reactor Materials. (1993) Stresa (Italy).

Disciplines

  • Physics
  • Material Engineering and Metallurgic Engineering

Areas of expertise

  • Materials science
  • Defects and impurities in thin films: doping, implantation
  • Atom, molecule, and ion scattering
  • Deposition by sputtering
  • Kinetics of defect formation and annealing
  • Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
  • Heat capacity of amophous solids and glasses
  • Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization